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CIS 系列封閉式離子源分析儀 憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶友好的 Windows 軟件包，CIS 系統(tǒng)將滿足您*苛刻的應(yīng)用。在線過程監(jiān)測和控制、在使用點(diǎn)驗(yàn)證過程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過程設(shè)備泄漏檢查是這些系統(tǒng)*不可少的一些領(lǐng)域。

PPR系列過程檢測系統(tǒng)是過程監(jiān)測和診斷的真空檢測儀。兩種不同的進(jìn)氣路徑提供給殘余氣體分析儀（RGA）：一路高壓進(jìn)氣模式用來檢測基本真空，一路分壓模式用來檢測過程壓力。壓力減少路徑包含一個(gè)微小孔徑，其目的是使運(yùn)行壓力工作在0.01，0.1，1或10Torr。 它使待測壓力環(huán)境滿足RGA的工作要求約10-6 Torr。 這種壓力控制系統(tǒng)是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。

QMS系列四極質(zhì)譜分析儀QMS系列四極質(zhì)譜儀 一個(gè)高效，低成本的寬范圍的質(zhì)譜分析儀。廣泛的有效應(yīng)用，具有高性價(jià)比的解決方案，這個(gè)質(zhì)譜分析簡化了在線過程檢測和氣體分析，泄漏檢測和故障診斷分析等實(shí)驗(yàn)。

UGA 系列大氣壓分析儀 新技術(shù)的質(zhì)譜分析儀，壓強(qiáng)測試范圍從大氣到超高真空壓強(qiáng)，是在線監(jiān)測和混合氣體分析的理想設(shè)備。無論檢測受限制的污染物，溶劑，氫化物， 制冷劑或者是腐蝕性氣體，UGA 都能勝任。UGA 的應(yīng)用包括半導(dǎo)體尾氣檢測，雜物箱分析，燃料電池的研究，氟利昂檢測，污染檢測，發(fā)酵研究和簡單真空分析。

RGA 系列殘余氣體分析儀 SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價(jià)值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細(xì)氣體分析，價(jià)格僅為競爭型號的一半。每個(gè) RGA 系統(tǒng)都配有一個(gè)四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個(gè)用于數(shù)據(jù)采集和分析以及探頭控制的實(shí)時(shí) Windows 軟件包。

IGC100高精度真空計(jì)控制器是一個(gè)高精度真空計(jì)控制器，提供壓力測量和過程自動(dòng)化控制。它測量壓力從Bayard-Alpert電離計(jì),對流增強(qiáng)的皮拉尼真空計(jì),和電容壓力計(jì)。提供不間斷的壓力讀數(shù)從1000 Torr to UHV。